Article details | |
Brand: | BROOKS |
Article no.: | SLA5853 |
Article name: | mass flow regulator |
Description: | |
- Messbereichsendwerte:
- 100 ln/min bis 2500 ln/min (N2-Äquivalent) - Eingestellter Messbereich: siehe unter "Prozessdaten" - Messspanne 1:50 - Messgenauigkeit - bis Endwerte 1100 ln/min 20...100 % Fluss: +/- 1 % v.Mw, < 20%: +/- 0,2 % v.Ew. - ab Endwert 1100 ln/min bis 2500 ln/min +/- 1 % v.Ew, - Reproduzierbarkeit +/- 0,2 % v.Mw. - Druckfest bis 70 bar, dPmax = 20 bar Größe des Strömungsteilers 451 bis 799 ln/min (N2) |